https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32607| Title: | Автоматизация технологического процесса производства окисных пленок в микроэлектронике |
| Authors: | Гомза, Е. С. |
| Keywords: | материалы конференций;оксидные пленки;микроэлектроника |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Гомза, Е. С. Автоматизация технологического процесса производства окисных пленок в микроэлектронике / Е. С. Гомза // Информационные технологии и управление : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2018. – С. 52. |
| Abstract: | Рассматривается определение режимов диффузии на основании заданных параметров распределения примеси. Диффузия ведется из предварительно созданного с помощью ионной имплантации слоя с ограниченным содержанием примеси. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32607 |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и управление : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Gomza_Avtomatizatsiya.pdf | 441.38 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.