| Title: | Блок питания в составе СВЧ генератора средней мощности |
| Authors: | Борисова, М. А. |
| Keywords: | материалы конференций;СВЧ плазма;блок питания;СВЧ генератор средней мощности |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Борисова, М. А. Блок питания в составе СВЧ генератора средней мощности / М. А. Борисова // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54 научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 127 - 128. |
| Abstract: | Применение СВЧ плазмы для проведения различных процессов вакуумно-плазменной обработки материалов связано
с ее уникальными электрофизическими свойствами и особенностями. В этом направлении особо важное значение имеет
использование плазменных методов обработки материалов, позволяющих не только целенаправленно достигать заданных
физических и служебных свойств, а также геометрических характеристик поверхностных слоев обрабатываемых материалов,
но и существенно сократить материальные и временные затраты на разработку оборудования и технологии с одновременным
значительным повышением производительности процессов и качества изделий микроэлектроники. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32836 |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
