Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32836
Title: Блок питания в составе СВЧ генератора средней мощности
Authors: Борисова, М. А.
Keywords: материалы конференций;СВЧ плазма;блок питания;СВЧ генератор средней мощности
Issue Date: 2018
Publisher: БГУИР
Citation: Борисова, М. А. Блок питания в составе СВЧ генератора средней мощности / М. А. Борисова // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54 научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 127 - 128.
Abstract: Применение СВЧ плазмы для проведения различных процессов вакуумно-плазменной обработки материалов связано с ее уникальными электрофизическими свойствами и особенностями. В этом направлении особо важное значение имеет использование плазменных методов обработки материалов, позволяющих не только целенаправленно достигать заданных физических и служебных свойств, а также геометрических характеристик поверхностных слоев обрабатываемых материалов, но и существенно сократить материальные и временные затраты на разработку оборудования и технологии с одновременным значительным повышением производительности процессов и качества изделий микроэлектроники.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32836
Appears in Collections:Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Borisova_Blok.pdf427.64 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.