Формирование хемочувствительных оксидных покрытий на сложнопрофилированных матрицах анодного оксида алюминия

Abstract

Проведены исследования по формированию композиционных матрично-пленочных оксидных структур на примере хемочувствительных слоев Mo-FeO/Al2O3/Si и Fe-SnO2/Al2O3/Si с использованием методов химического и электрохимического осаждения на поверхность пористого анодного оксида алюминия. Полученные структуры исследованы с помощью сканирующей электронной микроскопии и электроннозондового микроанализа, что позволило подтвердить их предполагаемый состав. Исследованы электронно-транспортные свойства полученных функциональных структур в диапазоне температур от 20º до 200ºС. Зафиксирован полупроводниковый характер электропереноса в полученных структурах с незначительным гистерезисом при циклировании температуры. Установлено, что сформированные структуры проявляют хемочувствительность к присутствию в воздушной среде паров аммиака на уровне 15% при температуре детектирования на уровне 100ºС.