Исследование влияния температуры подложки на оптические характеристики ультратонких пленок серебра, полученных ионно-лучевым распылением

Abstract

Исследованы процессы формирования ультратонких пленок серебра ионно-лучевым распылением. Плёнки формировались на подложках из стекла К8. Оптические параметры измерялись на длине волны λ =555 нм. Установлено, что повышение температуры конденсации приводит к монотонному снижению пропускания с 65 до 26% при повышении температуры подложки с 20 до 230оС. Поглощение при этом возрастает в 3,5 раза. Наблюдается медленный рост отражения с 34 до 74 % в диапазоне 20…230оС. В тоже время повышение температуры подложки до 150оС способствует снижению удельного поверхностного сопротивления, что связано с десорбцией аргона из пленки серебра, ростом размера зерна. При более высоких температурах происходит интенсивное окисление серебра газами остаточной атмосферы, что вызывает резкое увеличение сопротивления.