https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32964| Title: | Влияние режимов синтеза в режиме ионно-пучкового фокуса на коэффициенты преломления и поглощения пленок диоксида кремния |
| Authors: | Жердецкая, В. М. |
| Keywords: | материалы конференций;ионно-пучковый фокус;коэффициенты преломления;коэффициенты поглощения;пленки диоксида кремния |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Жердецкая, В. М. Влияние режимов синтеза в режиме ионно-пучкового фокуса на коэффициенты преломления и поглощения пленок диоксида кремния / В. М. Жердецкая // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 145 - 146. |
| Abstract: | Исследовано влияние режимов синтеза пленок диоксида кремния в режиме ионно-пучкового фокуса на коэффициенты преломления и поглощения пленок SiO2. Измерение оптических параметров осуществлялось на спектрофотометреHoriba Jobin Yvon в диапазоне 200…850 нм. Установлено, что определяющее влияние на коэффициенты преломления и поглощения имеет парциальное давление кислорода в рабочем газе. Уменьшение энергии ионов в пучке способствовало снижению k до 0,002 и коэффициента преломления до 1,63. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32964 |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Zherdetskaya_Vliyaniye.pdf | 440.44 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.