https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33057| Title: | Технологии субмикронных структур микроэлектроники |
| Authors: | Достанко, А. П. Бордусов, С. В. Голосов, Д. А. Завадский, С. М. Колос, В. В. Купо, А. Н. Ланин, В. Л. Лушакова, М. С. Мадвейко, С. И. Мельников, С. Н. Петлицкий, А. Н. Петухов, И. Б. Солодуха, В. А. Телеш, Е. В. |
| Keywords: | публикации ученых;микроэлектроника;технологии;субмикронные структуры |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | РУП “Издательский дом Беларуская навука ” |
| Citation: | Технологии субмикронных структур микроэлектроники / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. акад. НАН Беларуси А. П. Достанко. – Минск : Беларуская навука, 2018. – 270 с. |
| Abstract: | Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33057 |
| ISBN: | 978-985-08-2298-7 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Tekhnologii.pdf | 705.42 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.