Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33057
Title: Технологии субмикронных структур микроэлектроники
Authors: Достанко, А. П.
Бордусов, С. В.
Голосов, Д. А.
Завадский, С. М.
Колос, В. В.
Купо, А. Н.
Ланин, В. Л.
Лушакова, М. С.
Мадвейко, С. И.
Мельников, С. Н.
Петлицкий, А. Н.
Петухов, И. Б.
Солодуха, В. А.
Телеш, Е. В.
Keywords: публикации ученых;микроэлектроника;технологии;субмикронные структуры
Issue Date: 2018
Publisher: РУП “Издательский дом Беларуская навука ”, РБ
Citation: Технологии субмикронных структур микроэлектроники / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. акад. НАН Беларуси А. П. Достанко. – Минск : Беларуская навука, 2018. – 270 с.
Abstract: Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33057
ISBN: 978-985-08-2298-7
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Tekhnologii.pdf705.42 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.