Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33458
| Title: | Протяженный источник ионов с анодным слоем для обработки поверхности оптических элементов |
| Authors: | Занько, А. И. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;ионы с анодным слоем;оптические элементы |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Занько, А. И. Протяженный источник ионов с анодным слоем для обработки поверхности оптических элементов : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1–41 80 01 / А. И. Занько ; науч. рук. Д. А. Котов. - Минск : БГУИР, 2018. - 6 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33458 |
| Appears in Collections: | 1-41 80 01 Микро- и наноэлектроника
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
