| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Бельский, Д. В. | - |
| dc.contributor.author | Мадвейко, С. И. | - |
| dc.contributor.author | Бордусов, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Тихон, О. И. | - |
| dc.contributor.author | Лушакова, М. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-12-10T09:23:54Z | - |
| dc.date.available | 2018-12-10T09:23:54Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок / Д. В. Бельский и другие // Приборостроение – 2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, Минск, 14-16 ноября 2018 г. / Белорусский национальный технический университет. – Минск, 2018. – С. 240 - 241. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33782 | - |
| dc.description.abstract | Полученные результаты измерений структуры распределения СВЧ поля в зоне газового разряда в резонаторе прямоугольной формы указывают на существование устойчивой формы неравномерности распределения плотности мощности в объеме разрядной зоны. Это свидетельствует о наличии существенной пространственной неоднородности в параметрах СВЧ разряда применительно к цилиндрическим разрядным камерам туннельного типа. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БНТУ | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | СВЧ | ru_RU |
| dc.subject | фоторезистивные пленки | ru_RU |
| dc.subject | туннельный реактор | ru_RU |
| dc.title | Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
