Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33782
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБельский, Д. В.-
dc.contributor.authorМадвейко, С. И.-
dc.contributor.authorБордусов, С. В.-
dc.contributor.authorТихон, О. И.-
dc.contributor.authorЛушакова, М. С.-
dc.date.accessioned2018-12-10T09:23:54Z-
dc.date.available2018-12-10T09:23:54Z-
dc.date.issued2018-
dc.identifier.citationИсследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок / Д. В. Бельский и другие // Приборостроение – 2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, Минск, 14-16 ноября 2018 г. / Белорусский национальный технический университет. – Минск, 2018. – С. 240 - 241.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33782-
dc.description.abstractПолученные результаты измерений структуры распределения СВЧ поля в зоне газового разряда в резонаторе прямоугольной формы указывают на существование устойчивой формы неравномерности распределения плотности мощности в объеме разрядной зоны. Это свидетельствует о наличии существенной пространственной неоднородности в параметрах СВЧ разряда применительно к цилиндрическим разрядным камерам туннельного типа.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБНТУ, РБru_RU
dc.subjectпубликации ученыхru_RU
dc.subjectСВЧru_RU
dc.subjectфоторезистивные пленкиru_RU
dc.subjectтуннельный реакторru_RU
dc.titleИсследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленокru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Belskiy_Issledovaniye.pdf113.37 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.