https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33782| Title: | Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок |
| Authors: | Бельский, Д. В. Мадвейко, С. И. Бордусов, С. В. Тихон, О. И. Лушакова, М. С. |
| Keywords: | публикации ученых;СВЧ;фоторезистивные пленки;туннельный реактор |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БНТУ |
| Citation: | Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок / Д. В. Бельский и другие // Приборостроение – 2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, Минск, 14-16 ноября 2018 г. / Белорусский национальный технический университет. – Минск, 2018. – С. 240 - 241. |
| Abstract: | Полученные результаты измерений структуры распределения СВЧ поля в зоне газового разряда в резонаторе прямоугольной формы указывают на существование устойчивой формы неравномерности распределения плотности мощности в объеме разрядной зоны. Это свидетельствует о наличии существенной пространственной неоднородности в параметрах СВЧ разряда применительно к цилиндрическим разрядным камерам туннельного типа. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33782 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Belskiy_Issledovaniye.pdf | 113.37 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.