Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33782
Title: Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок
Authors: Бельский, Д. В.
Мадвейко, С. И.
Бордусов, С. В.
Тихон, О. И.
Лушакова, М. С.
Keywords: публикации ученых;СВЧ;фоторезистивные пленки;туннельный реактор
Issue Date: 2018
Publisher: БНТУ, РБ
Citation: Исследование влияния расстояния между кремниевыми пластинами на скорость СВЧ плазмохимического удаления фоторезистивных пленок / Д. В. Бельский и другие // Приборостроение – 2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, Минск, 14-16 ноября 2018 г. / Белорусский национальный технический университет. – Минск, 2018. – С. 240 - 241.
Abstract: Полученные результаты измерений структуры распределения СВЧ поля в зоне газового разряда в резонаторе прямоугольной формы указывают на существование устойчивой формы неравномерности распределения плотности мощности в объеме разрядной зоны. Это свидетельствует о наличии существенной пространственной неоднородности в параметрах СВЧ разряда применительно к цилиндрическим разрядным камерам туннельного типа.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33782
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Belskiy_Issledovaniye.pdf113.37 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.