| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ковалевский, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Котов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Корзун, К. А. | - |
| dc.contributor.author | Ясюнас, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Гранько, С. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-12-13T06:57:18Z | - |
| dc.date.available | 2018-12-13T06:57:18Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Исследование кинетики роста и оптических свойств DLC покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разряда / А. А. Ковалевский и др. // Материалы и структуры современной электроники : материалы VIII Международной научной конференции, Минск, 10–12 октября 2018 г. / редкол.: В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск: БГУ, 2018. – С. 255 – 261. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33874 | - |
| dc.description.abstract | Исследованы кинетика роста и оптические свойства алмазоподобных углеродных (DLC) покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разряда. Установлено, что основными факторами, влияющими на скорость осаждения и оптические свойства наноструктурированных алмазоподобных покрытий в высокоплотной плазме индукционного разряда, являются: тип прекурсоров, качество исходной подложки, общее давление газовой смеси, парциальное давление каждого из прекурсоров и величина подводимой к разряду ВЧ-мощности. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУ | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | алмазоподобные углеродные покрытия | ru_RU |
| dc.subject | ВЧ-мощности | ru_RU |
| dc.title | Исследование кинетики роста и оптических свойств DLC покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разряда | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
