Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34329
Title: Влияние отжига на структуру и диэлектрические свойства пленок оксида гафния
Authors: Голосов, Д. А.
Мельников, С. Н.
Завадский, С. М.
Вилья, Н.
Грехов, М. М.
Колос, В. В.
Keywords: публикации ученых;материалы конференций;оксид гафния;реактивное магнетронное распыление;диэлектрическая проницаемость;токи утечки
Issue Date: 2018
Publisher: Институт физики НАН Беларуси, РБ
Citation: Влияние отжига на структуру и диэлектрические свойства пленок оксида гафния / Д. А. Голосов [и др.] // Опто-, микро- и СВЧ электроника – 2018: сборник научных статей 1-ой международной научно-технической конференции, Минск, 22-26 октября 2018 г. / Институт физики НАН Беларуси. - Минск, 2018. - С. 296 - 299.
Abstract: Проведены исследования влияния температуры отжига на структуру и диэлектрические характеристики пленок оксида гафния, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления Hf мишени в Ar/O2 смеси газов. Установлено, что после нанесения пленки имели аморфную структуру. При отжиге аморфные пленки оксида гафния первоначально кристаллизовались в моноклинной кристаллической решетке. При этом отмечалось снижение диэлектрической проницаемости пленок с 23 до 14 единиц. При увеличении температуры отжига более 500 °С формировалась смешанная моноклинная – тетрагональная структура. При этом диэлектрическая проницаемость увеличивалась до 24 единиц и токи утечки снижались до 10-8 А при напряжении смещения 20 В.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34329
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Golosov_Vliyaniye.pdf120.56 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.