https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34330| Title: | Сегнетоэлектрические свойства пленок танталата стронция-висмута, нанесенных методом ВЧ магнетронного распыления |
| Authors: | Голосов, Д. А. Мельников, С. Н. Завадский, С. М. Колос, В. В. Поплевка, Е. А. Окоджи, Д. Э. Жукович, Ю. А. |
| Keywords: | публикации ученых;энергонезависимая память FeRAM;сегнетоэлектрики;танталат стронция-висмута;SBT;ВЧ магнетронное распыление |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | Гомельский государственный университет |
| Citation: | Сегнетоэлектрические свойства пленок танталата стронция-висмута, нанесенных методом ВЧ магнетронного распыления / Д. А. Голосов [и др.] // Проблемы физики, математики и техники. – 2018. – Том. 34, № 1. – С. 33 – 37. |
| Abstract: | Исследованы характеристики сегнетоэлектрических тонких пленок танталата стронция-висмута (SBT), нанесенных методом ВЧ магнетронного распыления на Pt/TiOx/SiO2/Si подложки. Установлены зависимости диэлектрической проницаемости, остаточной поляризации и коэрцитивной силы пленок SBT от режимов последующего отжига. При температуреотжига 800° C получены пленки с остаточной поляризацией 2Pr = 3,02 мкКл/см2, коэрцитивной силой 2Ec = 140 кВ/см.Диэлектрическая проницаемость и тангенс угла диэлектрических потерь на частоте 1,0 МГц составляли соответственно ε = 125 и tgδ = 0,067. Температура Кюри пленок достигала 310–315° С. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34330 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Okodzhi_Segnetoelektricheskiye.PDF | 1.31 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.