Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34358
Title: М – фактор как критерий качества технологического процесса изготовления полупроводниковых структур
Authors: Пилипенко, В. А.
Солодуха, В. А.
Петлицкий, А. Н.
Ковальчук, Н. С.
Петлицкая, Т. В.
Филипеня, В. А.
Keywords: публикации ученых;вольт-амперная характеристика;примеси в кремнии;р-п переход
Issue Date: 2018
Publisher: Видавництво ТОВ "Рik-У"
Citation: М – фактор как критерий качества технологического процесса изготовления полупроводниковых структур / В. А. Пилипенко [и др.] // Сборник трудов VIII Украинской конференция по физике полупроводников, Ужгород, 2-4 октября 2018 г. / Черновицкий национальный университет имени Юрия Федьковича. – Ужгород, 2018. – С. 447–448.
Abstract: Проведено моделирование зависимости m-фактора для несимметричного р–n перехода от времени жизни для различных концентраций носителей заряда в слабо и сильно легированных областях.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34358
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pilipenko_M-factor.PDF574.2 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.