Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34672
| Title: | Ионно-лучевой источник для ассистированного осаждения оптических покрытий |
| Authors: | Шандарович, Б. М. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;генерация потока ионов;ионно-лучевой источник |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Шандарович, Б. М. Ионно-лучевой источник для ассистированного осаждения оптических покрытий : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1- 41 80 01 / Б. М. Шандарович ; науч. рук. Д. А. Котов. - Минск : БГУИР, 2019. – 7 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34672 |
| Appears in Collections: | 1-41 80 01 Микро- и наноэлектроника
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
