Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34812
Title: Моделирование лазерной размерной обработки кремниевых подложек
Authors: Ланин, В. Л.
Чан, Н. Д
Keywords: материалы конференций;лазерное сверление отверстий;COMSOL Multiphysics;MathCAD;кремниевая подложка
Issue Date: 2019
Publisher: БГУИР
Citation: Ланин, В. Л. Моделирование лазерной размерной обработки кремниевых подложек / В. Л. Ланин, Н. Д. Чан // BIG DATA and Advanced Analytics = BIG DATA и анализ высокого уровня : сборник материалов V Международной научно-практической конференции, Минск, 13–14 марта 2019 г. В 2 ч. Ч. 2 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники; редкол. : В. А. Богуш [и др.]. – Минск, 2019. – С. 157 – 161.
Abstract: Моделирование в программных пакетах COMSOL Multiphysics и MathCAD термопрофилей лазерной обработки и глубины и диаметров отверстий в кремниевой подложке позволило установить зависимости температуры поверхности от параметров лазера, таких как частота следования и радиус луча, а также зависимости диаметра и глубины отверстия от энергии импульсного излучения.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34812
Appears in Collections:BIG DATA and Advanced Analytics = BIG DATA и анализ высокого уровня (2019)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Lanin_Modelirovaniye.PDF1.12 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.