https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34812| Title: | Моделирование лазерной размерной обработки кремниевых подложек |
| Authors: | Ланин, В. Л. Чан, Н. Д |
| Keywords: | материалы конференций;лазерное сверление отверстий;COMSOL Multiphysics;MathCAD;кремниевая подложка |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Ланин, В. Л. Моделирование лазерной размерной обработки кремниевых подложек / В. Л. Ланин, Н. Д. Чан // BIG DATA and Advanced Analytics = BIG DATA и анализ высокого уровня : сборник материалов V Международной научно-практической конференции, Минск, 13–14 марта 2019 г. В 2 ч. Ч. 2 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники; редкол. : В. А. Богуш [и др.]. – Минск, 2019. – С. 157 – 161. |
| Abstract: | Моделирование в программных пакетах COMSOL Multiphysics и MathCAD термопрофилей лазерной обработки и глубины и диаметров отверстий в кремниевой подложке позволило установить зависимости температуры поверхности от параметров лазера, таких как частота следования и радиус луча, а также зависимости диаметра и глубины отверстия от энергии импульсного излучения. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34812 |
| Appears in Collections: | BIG DATA and Advanced Analytics = BIG DATA и анализ высокого уровня : материалы конференции (2019) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lanin_Modelirovaniye.PDF | 1.12 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.