https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34898| Title: | Формирование высокоупорядоченных матриц анодного оксида алюминия заданной толщины и морфологии |
| Other Titles: | Formation of high ordered matrixes of anodic alumina with necessary thickness and morphology |
| Authors: | Соловей, Д. В. Мозалев, А. М. Горох, Г. Г. |
| Keywords: | доклады БГУИР;анодный оксид алюминия;упорядоченные диэлектрические матрицы;наноструктуры;электрохимические процессы |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Соловей, Д. В. Формирование высокоупорядоченных матриц анодного оксида алюминия заданной толщины и морфологии / Д. В. Соловей, А. М. Мозалев, Г. Г. Горох // Доклады БГУИР. - 2008. - № 6 (36). - С. 65 - 72. |
| Abstract: | Разработан и исследован трехстадийный электрохимический метод формирования высокоупорядоченных матриц анодного оксида алюминия (АОА) заданной толщины и поверхностной морфологии на тонких пленках алюминия. Преимущества метода продемонстрированы на примере формирования низкопрофильных матриц АОА толщиной 850 нм в щавелевокислом электролите. Электронно-микроскопические исследования показали, что созданные матрицы представляют собой регулярный близкий к идеальному массив вертикально ориентированных пор диаметром 70 нм. Предложен механизм упорядочения ячеисто-пористой структуры АОА в процессе ее формирования. Изготовленные матрицы предназначены для создания упорядоченных массивов низкоразмерных структур. |
| Alternative abstract: | An original, three-step electrochemical method has been developed for ordering the nanoporous structure of anodic films grown on sputter-deposited aluminium layers of various thicknesses and grain morphologies. The advantageous of the method have been demonstrated for the case of a 850-nm anodic film grown on a sputtered aluminium layer in oxalic acid electrolyte. Scanning electron microscopy has shown that the film is composed of a nearly ideal array of about 70-nm pores extended vertically right from the film top to the film/substrate interface, which is impossible to achieve by normal anodizing aluminium films. A mechanism explaining the growth of the ordered anodic films has been proposed. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34898 |
| Appears in Collections: | №6 (36) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Solovei_Formation.PDF | 709.37 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.