Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36108
Title: Формирование пленок оксида титана методом реактивного магнетронного распыления
Authors: Вилья, Н.
Голосов, Д. А.
Нгуен, Т. Д.
Keywords: доклады БГУИР;оксид титана;реактивное магнетронное распыление;МОП структура;диэлектрические свойства
Issue Date: 2019
Publisher: БГУИР
Citation: Вилья, Н. Формирование пленок оксида титана методом реактивного магнетронного распыления / Н. Вилья, Д. А. Голосов, Т. Д. Нгуен // Доклады БГУИР. – 2019. – № 5 (123). – С. 87-93. – DOI: http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2019-123-5-87-93.
Abstract: В статье представлены результаты исследований диэлектрических характеристик пленок оксида титана, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления Ti мишени в Ar/O2 смеси газов. Установлены зависимости диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь, ширины запрещенной зоны, плотности токов утечки от содержания кислорода в Ar/O2 смеси газов в процессе нанесения пленок. Получены пленки с диэлектрической проницаемостью 20–30 единиц, тангенсом угла диэлектрических потерь 0,02, шириной запрещенной зоны 3,82 эВ и плотностью токов утечки при напряженности электрического поля 2,0Ч106 В/см менее 1,0 А/см2.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36108
Appears in Collections:№5 (123)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Vilia_Formirovanie.pdf16.62 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.