https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36108| Title: | Формирование пленок оксида титана методом реактивного магнетронного распыления |
| Authors: | Вилья, Н. Голосов, Д. А. Нгуен, Т. Д. |
| Keywords: | доклады БГУИР;оксид титана;реактивное магнетронное распыление;МОП структура;диэлектрические свойства |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Вилья, Н. Формирование пленок оксида титана методом реактивного магнетронного распыления / Н. Вилья, Д. А. Голосов, Т. Д. Нгуен // Доклады БГУИР. – 2019. – № 5 (123). – С. 87-93. – DOI: http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2019-123-5-87-93. |
| Abstract: | В статье представлены результаты исследований диэлектрических характеристик пленок оксида титана, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления Ti мишени в Ar/O2 смеси газов. Установлены зависимости диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь, ширины запрещенной зоны, плотности токов утечки от содержания кислорода в Ar/O2 смеси газов в процессе нанесения пленок. Получены пленки с диэлектрической проницаемостью 20–30 единиц, тангенсом угла диэлектрических потерь 0,02, шириной запрещенной зоны 3,82 эВ и плотностью токов утечки при напряженности электрического поля 2,0Ч106 В/см менее 1,0 А/см2. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36108 |
| Appears in Collections: | №5 (123) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Vilia_Formirovanie.pdf | 16.62 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.