Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36229
Title: Формирование мезопористого кремния в охлажденном электролите
Authors: Гурбо, А. Д.
Гревцов, Н. Л.
Клименко, А. В.
Keywords: материалы конференций;мезопористый кремний;электрохимическое анодирование
Issue Date: 2019
Publisher: БГУИР
Citation: Гурбо, А. Д. Формирование мезопористого кремния в охлажденном электролите / А. Д. Гурбо, Н. Л. Гревцов, А. В. Клименко // Радиотехника и электроника: 55-я юбилейная научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2019. – С. 175 – 176.
Abstract: Методом электрохимического анодирования в электролите на основе фтористоводородной кислоты на кремниевых подложках электронного типа проводимости получены слои пористого кремния. Изучено влияние температуры электролита и плотности тока анодирования на скорость роста и пористость пористого кремния.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36229
Appears in Collections:Радиотехника и электроника : материалы 55-й юбилейной научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Gurbo_Formirovaniye.pdf458.11 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.