https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36271| Title: | Формирование медной плёнки на стеклянной подложке с адгезией класса 5B методом магнетронного распыления |
| Authors: | Рабатуев, Г. Г. |
| Keywords: | материалы конференций;легированные оксиды металлов;магнетронное распыление |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Рабатуев, Г. Г. Формирование медной плёнки на стеклянной подложке с адгезией класса 5B методом магнетронного распыления / Г. Г. Рабатуев // Радиотехника и электроника: 55-я юбилейная научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22–26 апреля 2019 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2019. – С. 211–212. |
| Abstract: | Проведён поиск методов улучшения адгезии медной плёнки толщиной порядка 3 мкм к стеклу при его осаждении методом магнетронного распыления. Установлено, что адгезия класса 5B может быть достигнута при подборе материала буферного слоя. Не обнаружено влияния на адгезию подаваемой на магнетрон мощности, температуры подложки и степени очистки ионной бомбардировкой. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36271 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 55-й юбилейной научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Rabatuyev_Formirovaniye.pdf | 480.27 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.