https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36276| Title: | Алгоритм расчета зоны плазмообразования в магнетронной распылительной системе |
| Authors: | Шекелевский, В. В. Бездников, М. С. |
| Keywords: | материалы конференций;расчет зоны плазмообразования;магнетронная распылительная система |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Шекелевский, В. В. Алгоритм расчета зоны плазмообразования в магнетронной распылительной системе / В. В. Шекелевский, М. С. Бездников // Радиотехника и электроника: 55-я юбилейная научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22–26 апреля 2019 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2019. – С. 179–180. |
| Abstract: | В работе представлена методика определения равномерности формируемого покрытия исходя из количественной оценки эффектов и процессов магнетронного распыления и конденсации на подложке. Выполнена верификация результата расчетов с экспериментальными данными. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36276 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 55-й юбилейной научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Skelevskiy_Algoritm.pdf | 795.51 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.