https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36711| Title: | Исследования электрофизических характеристик возбуждения плазмы двухчастотного разряда |
| Authors: | Козлова, С. А. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;низкотемперaтурнaя плaзмa;СВЧ рaзряд |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Козлова, С. А. Исследования электрофизических характеристик возбуждения плазмы двухчастотного разряда : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1- 41 80 02 / С. А. Козлова; науч. рук. С. И. Мадвейко. - Минск : БГУИР, 2019. – 9 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36711 |
| Appears in Collections: | 1-41 80 02 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kozlova_Issledovaniya.pdf | 528.13 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.