https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36943| Title: | Технологические процессы получения полупроводниковых пластин |
| Authors: | Моковский, В. А. Володин, И. А. |
| Keywords: | материалы конференций;полупроводниковые приборы;интегральные микросхемы |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Моковский, В. А. Технологические процессы получения полупроводниковых пластин / Моковский В. А., Володин И. А. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 187 – 188. |
| Abstract: | Современные полупроводниковые приборы и интегральные микросхемы представляют собой чрезвычайно сложные устройства, отдельные компоненты которых имеют размеры не более доли микрометра. Изготовление таких устройств осуществляется на монокристаллических полупроводниковых пластинах с использованием фотолитографии.Полупроводниковые пластины, предназначенные для формирования изделий микроэлектроники, характеризуются сoвepшенной атомной структурой и высокой геометрической точностью обеспечения этих качеств разработана оригинальная технология механической, химической и химико-механической обработки моно-кристаллических материалов. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/36943 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Mokovskiy_Technologicheskiye.pdf | 521.62 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.