Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/3696
Title: Диэлектрические характеристики конденсаторных структур на основе пленок титаната стронция, сформированных золь-гель методом
Other Titles: Dielectrical characteristics of capacitor structures on the basis of sol-gel derived strontium titanate films
Authors: Сохраби Анараки, Х.
Гапоненко, Н. В.
Руденко, М. В.
Завадский, С. М.
Голосов, Д. А.
Гук, А. Ф.
Колос, В. В.
Петлицкий, А. Н.
Турцевич, А. С.
Keywords: доклады БГУИР
золь-гель
титанат стронция
конденсатор
Issue Date: 2014
Publisher: БГУИР
Citation: Диэлектрические характеристики конденсаторных структур на основе пленок титаната стронция, сформированных золь-гель методом / Х. Сохраби Анараки [ и др.] // Доклады БГУИР. - 2014. - № 7 (85). - С. 28 - 31.
Abstract: Сформированы тонкопленочные конденсаторы на подложках кремния. Основу конденсатора составляет многослойная пленка титаната стронция, полученная золь-гель методом при температурах отжига 750–800 °С. Нижний электрод сформирован из платины, верхний – из никеля. Средние значения диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлекрических потерь лежат в пределах 150–190 и 0,06–0,1 соответственно. Приведены значения среднеквадратического отклонения указанных величин.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/3696
Appears in Collections:№7 (85)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Sokhrabi_Dielektricheskiye.PDF712,01 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.