| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Аюпов, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Шамшуров, П. Ю. | - |
| dc.contributor.author | Голосов, А. Д. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-11-13T06:25:45Z | - |
| dc.date.available | 2019-11-13T06:25:45Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Аюпов, В. А. Кварцевый датчик для измерения скорости нанесения тонких пленок методами ионно-плазменного распыления / Аюпов В. А., Шамшуров П. Ю., Голосов А. Д. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 262. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37190 | - |
| dc.description.abstract | Для регистрации скорости нанесения при ионно-лучевом и ионно-плазменном распылении был разработан специализированный кварцевый датчик QI-001. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | кварцевый датчик | ru_RU |
| dc.subject | скорость нанесения распыления | ru_RU |
| dc.subject | тонкая пленка | ru_RU |
| dc.title | Кварцевый датчик для измерения скорости нанесения тонких пленок методами ионно-плазменного распыления | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
