https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37190| Title: | Кварцевый датчик для измерения скорости нанесения тонких пленок методами ионно-плазменного распыления |
| Authors: | Аюпов, В. А. Шамшуров, П. Ю. Голосов, А. Д. |
| Keywords: | материалы конференций;кварцевый датчик;скорость нанесения распыления;тонкая пленка |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Аюпов, В. А. Кварцевый датчик для измерения скорости нанесения тонких пленок методами ионно-плазменного распыления / В. А. Аюпов, П. Ю. Шамшуров, А. Д. Голосов // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22–26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2019. – С. 262. |
| Abstract: | Для регистрации скорости нанесения при ионно-лучевом и ионно-плазменном распылении был разработан специализированный кварцевый датчик QI-001. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37190 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Ayupov_Kvartsevyy.pdf | 407.27 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.