| Title: | Формирование пленок SiOC ионно-лучевым распылением составной мишени SiO2/25 %C |
| Authors: | Дуксин, М. В. |
| Keywords: | материалы конференций;диоксид кремния;распыление;пленка SiOC;составная мишень |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Дуксин, М. В. Формирование пленок SiOC ионно-лучевым распылением составной мишени SiO2/25 %C / М. В. Дуксин // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2019. – С. 286–287. |
| Abstract: | Проведено исследование влияния состава рабочего газа и температуры подложки при нанесении пленок SiOC реактивным ионно-лучевым распылением составной мишени SiO2/25 %C на электрофизические и спектральные характеристики. Добавка кислорода к аргону позволила увеличить пропускание и снизить поглощение в видимом и ближнем ИК диапазоне. Нагрев подложки также способствовал росту пропускания. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37200 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
