Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37318
Title: Нанесение пленок танталата-ниобата стронция-висмута в off-axis конфигурации
Authors: Голосов, А. Д.
Аюпов, В. А.
Шамшуров, П. Ю.
Keywords: материалы конференций;нанесение пленок;пленка;off-axis конфигурация
Issue Date: 2019
Publisher: БГУИР
Citation: Голосов, А. Д. Нанесение пленок танталата-ниобата стронция-висмута в off-axis конфигурации / Голосов А. Д., Аюпов В. А., Шамшуров П. Ю. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 275-276.
Abstract: Метод магнетронного нанесения тонких пленок на подложки в вакууме давно и прочно заняло свое место в получении функциональных покрытий, как в микроэлектронике, так и в других отраслях промышленности.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37318
Appears in Collections:Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Golosov_Naneseniye.pdf593.56 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.