https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37416| Title: | Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния |
| Authors: | Емельянов, В. В. Бордусов, С. В. |
| Keywords: | публикации ученых;плазмохимическое травление;нитрид кремния;диоксид кремния;селективность |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | Белорусско-Российский университет |
| Citation: | Емельянов, В. В. Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния / Емельянов В. В., Бордусов С. В. // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии: материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 25-26 апреля 2019 г. / Белорусско-Российский университет; редкол. : М. Е. Лустенков [и др.]. – Могилев, 2019. – С. 126 – 127. |
| Abstract: | В настоящее время с развитием нанотехнологий плазмохимическое травление остается практически единственным инструментом для переноса рисунка интегральной схемы в маскирующем слое в материал подложки благодаря тому, что точность переноса рисунка соизмерима с размером ионов травящих газов. Однако требования к плазменной технологии: допустимые дефекты, селективность (избирательность к материалу), управление шириной линии, однородность травления – становятся все более жесткими и, как следствие, более сложными в реализации. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37416 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Emelianov_Selektivnoye.pdf | 293.89 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.