Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37416
Title: Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния
Authors: Емельянов, В. В.
Бордусов, С. В.
Keywords: публикации ученых
плазмохимическое травление
нитрид кремния
диоксид кремния
селективность
Issue Date: 2019
Publisher: Белорусско-Российский университет, РБ
Citation: Емельянов, В. В. Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния / Емельянов В. В., Бордусов С. В. // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии: материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 25-26 апреля 2019 г. / Белорусско-Российский университет; редкол. : М. Е. Лустенков [и др.]. – Могилев, 2019. – С. 126 – 127.
Abstract: В настоящее время с развитием нанотехнологий плазмохимическое травление остается практически единственным инструментом для переноса рисунка интегральной схемы в маскирующем слое в материал подложки благодаря тому, что точность переноса рисунка соизмерима с размером ионов травящих газов. Однако требования к плазменной технологии: допустимые дефекты, селективность (избирательность к материалу), управление шириной линии, однородность травления – становятся все более жесткими и, как следствие, более сложными в реализации.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37416
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Emelianov_Selektivnoye.pdf293,89 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.