Количественный анализ нанорельефа поверхности металлических пленок на стекле по данным сканирующей зондовой микроскопии

Abstract

В данной работе рассмотрены вопросы, касающиеся анализа поверхностного нанорельфа, а также взаимосвязь параметров шероховатости тонких металлических пленок с их физико-химическими свойствами. Показано, как компьютерная обработка полученных с помощью атомно-силовой микроскопии изображений поверхности тонких пленок молибдена на стекле позволяет получить количественную информацию о поперечных и продольных характеристиках шероховатости поверхности, а также распределении высот и впадин нанорельефа в зависимости от условий формирования покрытий. Предложено использование нового исследовательского гибридного параметра k, который количественно характеризует форму неровностей профиля. Установленная зависимость равновесного краевого угла смачивания пленок водой от k демонстрирует, что смачиваемость системы Mo/подложка определяется особенностями нанорельефа поверхности.