| Title: | Особенности классификации дефектов полупроводниковой пластины при автоматизированном контроле |
| Authors: | Лапко, А. В. |
| Keywords: | материалы конференций;топологическая классификация дефектов;полупроводниковая пластина |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Лапко, А. В. Особенности классификации дефектов полупроводниковой пластины при автоматизированном контроле / Лапко А. В. // Информационные технологии и системы 2019 (ИТС 2019) = Information Teсhnologies and Systems 2019 (ITS 2019) : материалы международной научной конференции, Минск, 30 октября 2019 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники; редкол. : Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2019. – С. 62 – 63. |
| Abstract: | В работе рассматриваются особенности классификации дефектов, возникающих при производстве полупроводниковой пластины, а также классификации, основанной на учете размеров дефекта, влияния
дефекта на сформированную топологию пластины, причине возникновения дефекта или на цифровых параметрах, необходимых для автоматизированных систем, которые отличают дефектные области от
бездефектных. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37552 |
| Appears in Collections: | ИТС 2019
|
