Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37811
Title: Вакуумная линейная установка для нанесения гидрофобного просветляющего покрытия на сенсорные дисплеи
Other Titles: In-line sputtering coater of hydrophobic antireflection coating for sensor display
Authors: Мысливец, А. С.
Розель, П. А.
Хохлов, Е. А.
Myslivets, A. S.
Rozel, P. A.
Khakhlov, E. A.
Keywords: доклады БГУИР
магнетронное напыление
вакуумная система
оксидные пленки
Issue Date: 2019
Publisher: БГУИР
Citation: Мысливец, А. С. Вакуумная линейная установка для нанесения гидрофобного просветляющего покрытия на сенсорные дисплеи / А. С. Мысливец, П. А. Розель, Е. А. Хохлов // Доклады БГУИР. – 2019. – № 7 (125). – С. 74-80. – DOI : http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2019-125-7-74-80.
Abstract: Целью работы является разработка вакуумного технологического оборудования для напыления интерференционного просветляющего покрытия с последующим нанесением гидрофобного защитного слоя в едином вакуумном цикле. Для напыления интерференционного просветляющего покрытия используется метод магнетронного реактивного распыления в режиме переменного тока с частотой 20 кГц. Данный метод позволяет использовать широкий спектр распыляемых материалов и получать стабильные и качественные покрытия на различных подложках. Для определения оптических характеристик использовали спектрофотометр, которым оценивали коэффициенты пропускания и отражения в видимой области спектра электромагнитного излучения. Для проверки физических характеристик гидрофобного покрытия использовали тест на истирание покрытия металлической ватой с нагрузкой 1 кг/см2. Новизной представленного метода является совмещение жидкофазного метода нанесения покрытий совместно с физическим распылением в вакууме без разрыва технологического процесса. Данный метод позволяет добиться увеличения производительности и выхода годных деталей, так как уменьшается количество операций на многоступенчатом этапе производства сенсорного дисплея. После разработки и настройки линейного вакуумного оборудования Aurora G5 был получен стабильный и воспроизводимый технологический процесс получения гидрофобных просветляющих покрытий на большие площади с высокой производительностью. Получено просветляющее покрытие со средним коэффициентом отражения менее 0,6 % в диапазоне длин волн 400 до 700 нм. Проверка адгезии показала 0 класс согласно классификации ISO. Полученные покрытия имеют высокие твердость >9H и стойкость к истиранию >5000 циклов. Итогом данной разработки и исследования является внедрение вакуумного технологического оборудования в производственный процесс изготовления просветляющих гидрофобных покрытий на сенсорные дисплеи.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37811
Appears in Collections:№7 Спецвыпуск (125)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Myslivets_Vakuumnaya.pdf1,57 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.