| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лам, Н. Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-12-24T10:03:15Z | - |
| dc.date.available | 2019-12-24T10:03:15Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Лам, Н. Н. Исследование механических характеристик и термостойкости тонких пленок TiB2 + 20 % TiC / Лам Н. Н. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 330-331. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37918 | - |
| dc.description.abstract | Проведено исследование влияния температуры подложки при нанесении пленок ионно-лучевым распылением мишени состава TiB2+20% TiC на их механические характеристики и термостойкость. Установлено, что микротвердость и термостойкость пленок увеличивается, а коэффициент трения уменьшается с ростом температуры подложки, что может быть связано с десорбцией из пленки газовых включений, уплотнением ее структуры. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | тонкая пленка | ru_RU |
| dc.subject | термостойкость | ru_RU |
| dc.title | Исследование механических характеристик и термостойкости тонких пленок TiB2 + 20 % TiC | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
