| Title: | Исследование механических характеристик и термостойкости тонких пленок TiB2 + 20 % TiC |
| Authors: | Лам, Н. Н. |
| Keywords: | материалы конференций;тонкая пленка;термостойкость |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Лам, Н. Н. Исследование механических характеристик и термостойкости тонких пленок TiB2 + 20 % TiC / Н. Н. Лам // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22–26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2019. – С. 330–331. |
| Abstract: | Проведено исследование влияния температуры подложки при нанесении пленок ионно-лучевым распылением мишени состава TiB2+20% TiC на их механические характеристики и термостойкость. Установлено, что микротвердость и термостойкость пленок увеличивается, а коэффициент трения уменьшается с ростом температуры подложки, что может быть связано с десорбцией из пленки газовых включений, уплотнением ее структуры. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37918 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
