https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37956| Title: | Формирование отверстий лазерным излучением в кремниевых подложках |
| Authors: | Первенецкий, А. П. |
| Keywords: | материалы конференций;кремниевая подложка;TSV-технология;лазерная обработка подложки |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Первенецкий, А. П. Формирование отверстий лазерным излучением в кремниевых подложках / Первенецкий А. П. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 347-348. |
| Abstract: | При производстве 3D электронных модулей по технологии TSV применяют лазерные методы создания отверстий в кремниевых подложках. Исследовался процесс формирования переходных отверстий лазерным излучением с длинами волн 532 нм и 1064 нм. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37956 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pervenetskiy_Formirovaniye.pdf | 589.99 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.