| Title: | Исследовательский стенд для фотохимически стимулированного удаления фоторезиста |
| Authors: | Тихон, О. И. |
| Keywords: | материалы конференций;исследовательский стенд;очистка полупроводниковых подложек |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Тихон, О. И. Исследовательский стенд для фотохимически стимулированного удаления фоторезиста / О. И. Тихон // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22–26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 377–378. |
| Abstract: | Обработка полупроводниковых материалов комбинацией ультрафиолетового излучения и озона считается альтернативой
широко применяемым методам сухой очистки и обработке в жидких технологических средах. При рассмотрении возможности
применения данного метода в составе технологического маршрута изготовления ИС требуется изучение условий и
особенностей его реализации. С целью проведения экспериментов был разработан исследовательский стенд для изучения
параметров фотохимически усиленных процессов очистки полупроводниковых подложек и удаления фоторезистивных плёнок
в условиях атмосферного давления. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38063 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
