Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38244
Title: Диэлектрические свойства пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления
Authors: Вилья, Н.
Голосов, Д. А.
Нгуен, Т. Д.
Keywords: публикации ученых;оксид тантала;реактивное магнетронное распыление;МОП структура;диэлектрические свойства
Issue Date: 2019
Publisher: Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины, РБ
Citation: Вилья, Н. Диэлектрические свойства пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления / Вилья Н., Голосов Д. А., Нгуен Т. Д. // Проблемы физики, математики и техники. – 2019. – № 2 (39). – C. 15 – 19.
Abstract: Представлены результаты исследований диэлектрических характеристик пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления Ta мишени в Ar/O2 смеси газов. Установлены зависимости диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь, ширины запрещенной зоны, плотности токов утечки от содержания кислорода в Ar/O2 смеси газов в процессе нанесения пленок. Получены пленки с диэлектрической проницаемостью 12–30 единиц, тангенсом угла диэлектрических потерь 0.01, плотностью токов утечки менее 0.1 А/см2 при напряженности электрического поля 2.0×106.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38244
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Vilia_Dielektricheskiye.pdf380.75 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.