https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38587| Title: | Исследование влияния технеции в составе катализаторов из соединений РЗЭ на процесс разложения моногидридов кремния и германия |
| Authors: | Ковалевский, А. А. Строгова, А. С. Кузнецов, Д. Ф. Воронец, Я. С. Гранько, С. В. |
| Keywords: | публикации ученых;катализаторы;полиимидная мембрана;моногидриды;моносилан;эпитаксиальные пленки |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | ООО «ИКЦ «Академкнига» |
| Citation: | Исследование влияния технеции в составе катализаторов из соединений РЗЭ на процесс разложения моногидридов кремния и германия / Ковалевский А. А. [и др.] // Микроэлектроника. – 2019. – Т.48, №5. – С. 323 – 333. – DOI: 10.1134/S0544126919050053. |
| Abstract: | Статья посвящена установлению технеции в составе катализаторов из соединений РЗЭ на процесс разложения моногидридов кремния и германия при выращивании эпитаксиальных пленок кремния и твердого раствора кремний-германий. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38587 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kovalevskiy_Issledovaniye.pdf | 465.06 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.