Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38587
Title: Исследование влияния технеции в составе катализаторов из соединений РЗЭ на процесс разложения моногидридов кремния и германия
Authors: Ковалевский, А. А.
Строгова, А. С.
Кузнецов, Д. Ф.
Воронец, Я. С.
Гранько, С. В.
Kuzniatsou, D. F.
Keywords: публикации ученых
катализаторы
полиимидная мембрана
моногидриды
моносилан
эпитаксиальные пленки
Issue Date: 2019
Publisher: ООО «ИКЦ «Академкнига», РФ
Citation: Исследование влияния технеции в составе катализаторов из соединений РЗЭ на процесс разложения моногидридов кремния и германия / Ковалевский А. А. [и др.] // Микроэлектроника. – 2019. – Т.48, №5. – С. 323 – 333. – DOI: 10.1134/S0544126919050053.
Abstract: Статья посвящена установлению технеции в составе катализаторов из соединений РЗЭ на процесс разложения моногидридов кремния и германия при выращивании эпитаксиальных пленок кремния и твердого раствора кремний-германий.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38587
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kovalevskiy_Issledovaniye.pdf465.06 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.