https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/387| Title: | Базовые технологические процессы изготовления интегральных схем и микроэлектромеханических систем. Лаб. практикум : учебно - метод. пособие |
| Authors: | Котов, Д. А. Родионов, Ю. А. |
| Keywords: | учебно-методические пособия;высокотемпературная диффузия;ионное легирование;микролитография;интегральные микросхемы;лабораторные работы |
| Issue Date: | 2011 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Котов, Д. А. Базовые технологические процессы изготовления интегральных схем и микроэлектромеханических систем. Лаб. практикум : учебно - метод. пособие / Д. А. Котов, Ю. А. Родионов. – Минск : БГУИР, 2011. – 44 с. |
| Abstract: | В пособии рассматриваются четыре технологических процесса: химическое травление; высокотемпературная диффузия; ионное легирование; микролитография. В конце пособия приводится перечень контрольных вопросов и литература. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/387 |
| ISBN: | 978-985-488-425-7 |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kotov_Bazovie.pdf | 1.17 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.