Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38804
Title: Технологические процессы осаждения и травления в технологии изготовления ИМС и МЭМС : учебно-методическое пособие
Authors: Котов, Д. А.
Родионов, Ю. А.
Ясюнас, А. А.
Ковальчук, Н. С.
Keywords: учебно-методические пособия;методы получения тонких пленок;травление твердотельных структур
Issue Date: 2020
Publisher: БГУИР, РБ
Citation: Технологические процессы осаждения и травления в технологии изготовления ИМС и МЭМС : учеб.-метод. пособие / Д. А. Котов [и др.]. – Минск : БГУИР, 2020. – 68 с. : ил.
Abstract: В учебно-методическом пособии систематизированы химические и физические методы получения тонких пленок, травления твердотельных структур в вакууме и особенности их применения в технологии микроэлектроники для создания ИМС и МЭМС. Представлены характеристики технологических процессов и оборудования для осаждения тонких пленок проводящих материалов, полупроводников и диэлектриков, а также их травления. Показано место процессов формирования пленочных структур и травления твердых тел в технологической цепочке создания ИМС и МЭМС. Предназначено для студентов всех форм обучения, изучающих дисциплины «Технология изготовления интегральных микросхем», «Технологические процессы в микроэлектронике», «Основы твердотельной электроники».
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38804
ISBN: 978-985-543-477-2
Appears in Collections:Кафедра микро- и наноэлектроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kotov_Teh.pdf7.64 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.