| Title: | Активация процесса реактивного ионно-лучевого распыления |
| Authors: | Ковалева, А. П. |
| Keywords: | материалы конференций;ионно-лучевое распыление;тонкопленочный элемент |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Ковалева, А. П. Активация процесса реактивного ионно-лучевого распыления / А. П. Ковалева // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7 – 11 мая 2012 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск, 2012. – С. 116–117. |
| Abstract: | В статье исследована микроструктура, морфология поверхности пропускание и состав слоев поликристаллического кремния, полученных осаждением из ионных пучков в вакууме, а также, проанализировано влияние режимов нанесения на характеристики пленок. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38947 |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012)
|
