https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38953| Title: | Формирования плёнок легированного оксида циркония методом ВЧ-магнитронного распыления |
| Authors: | Мартусевич, А. Н. |
| Keywords: | материалы конференций;пленки оксида циркония;ВЧ-магнитронное распыление |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Мартусевич, А. Н. Формирования плёнок легированного оксида циркония методом ВЧ-магнитронного распыления / А. Н. Мартусевич // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7 – 11 мая 2012 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск, 2012. – С. 98. |
| Abstract: | Проведены исследования электрофизических характеристик пленок оксида циркония стабилизированных иттрием нанесенных методом ВЧ- магнитронного распыления. Методом рентгенофазового анализа установлено, что полученные слои является аморфным, и в кубическую структуру в процессе отжига на воздухе при температуре более 700 °С. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38953 |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Martusevich_Formirovaniya.pdf | 310.77 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.