https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38954| Title: | Исследование характеристик слоев поликристаллического кремния |
| Authors: | Песецкий, П. С. |
| Keywords: | материалы конференций;поликристаллический кремний;тонкопленочное покрытие |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Песецкий, П. С. Исследование характеристик слоев поликристаллического кремния / П. С. Песецкий // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7 – 11 мая 2012 г. / редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск : БГУИР, 2012. – С. 118-119. |
| Abstract: | Исследована микроструктура, морфология поверхности пропускание и состав слоев поликристаллического кремния, полученных осаждением из ионных пучков в вакууме. Проанализировано влияние режимов нанесения на характеристики пленок. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38954 |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pesetskiy_Issledovaniye.pdf | 1.25 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.