https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39077| Title: | Получение плёнок на основе нитридов металлов Ti, Sn, Ag методом магнетронного напыления |
| Authors: | Симченко, С. В. Бурцева, В. П. Кайкы, М. Н. |
| Keywords: | неопубликованный документ;магнетронное напыление;нитриды металлов;спектры поглощения |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Симченко, С. В. Получение плёнок на основе нитридов металлов Ti, Sn, Ag методом магнетронного напыления [Электронный ресурс] / С. В. Симченко, В.П. Бурцева, М. Н. Кайкы // Репозиторий БГУИР, 2020. – Режим доступа: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39077. |
| Abstract: | Получение плёнок металлов TiN, SnN, AgN методом магнетронного напыления и их спектры поглощения. |
| Description: | Опубликовано в репозитории БГУИР |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39077 |
| ISSN: | 2410-4655 |
| Appears in Collections: | Публикации в репозитории БГУИР |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Simchenko_Polucheniye.pdf | 674.92 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.