https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39377
Title: | Оптимизация режимов лазерной импульсной обработки при формировании отверстий в кремнии и керамике |
Other Titles: | Optimization of laser pulse processing when forming holes in silicon and ceramics |
Authors: | Ланин, В. Л. Чан, Н. Д. |
Keywords: | материалы конференций;лазерная импульсная обработка;формирование отверстий;кремний;laser pulse processing;hole formation;silicon |
Issue Date: | 2020 |
Publisher: | Беспринт |
Citation: | Ланин, В. Л. Оптимизация режимов лазерной импульсной обработки при формировании отверстий в кремнии и керамике / В. Л. Ланин, Н. Д. Чан // BIG DATA and Advanced Analytics = BIG DATA и анализ высокого уровня: сб. материалов VI Междунар. науч.-практ. конф., Минск, 20-21 мая 2020 года: в 3 ч. Ч. 3 / редкол.: В. А. Богуш [и др.]. – Минск : Бестпринт, 2020. – С. 173–177. |
Abstract: | В процессе лазерной импульсной обработки при формировании отверстий в кремнии и керамике, время нагрева и скорость сверления отверстий с использованием лазерных импульсов длительностью микро-, нано и пикосекунды рассчитаны при разных значениях интенсивности этих импульсов. Определение требуемой интенсивности лазерного луча в процессе лазерного формирования отверстий позволяет оптимизировать процесс. |
Alternative abstract: | In laser pulse process when forming holes in silicon and ceramics, the heating stage time and the drilling velocity using laser pulse (micro-, nano-, picoseconds) have been calculated at different values of intensity of these pulse. Determination of the effect of laser beam intensity in laser holes formation process allows to optimize the process. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39377 |
ISBN: | 978-985-905-339-9 |
Appears in Collections: | BIG DATA and Advanced Analytics = BIG DATA и анализ высокого уровня : материалы конференции (2020) |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Lanin_Optimizatsiya3.pdf | 847.23 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.