Title: | Металл-стимулированное химическое травление кремния с использованием дендритов серебра |
Authors: | Гревцов, Н. Л. |
Keywords: | материалы конференций;кремниевые пластины;химическое травление;кремниевые наноструктуры |
Issue Date: | 2020 |
Publisher: | БГУИР |
Citation: | Гревцов, Н. Л. Металл-стимулированное химическое травление кремния с использованием дендритов серебра / Гревцов Н. Л. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель-май 2020 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск : БГУИР, 2020. - С. 29-30. |
Abstract: | Исследован процесс химического травления кремниевых пластин, стимулированного дендритами серебра. Нанонити, полученные данным методом на подложках n-типа, обладают меньшим аспектным соотношением по сравнению с их аналогами p-типа, что приписывается меньшей концентрации свободных дырок. Увеличение длины нитей путем повышения продолжительности осаждения объясняется окислением и переосаждением серебра с металлических дендритов большой площади. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39809 |
Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|