| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Гранько, С. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-07-12T07:07:47Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-17T07:47:47Z | - |
| dc.date.available | 2014-07-12T07:07:47Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-17T07:47:47Z | - |
| dc.date.issued | 2009 | - |
| dc.identifier.citation | Микроэлектромеханические устройства : лаборатор. практикум по курсу «Микро- и наноэлектромехан. устройства» для студентов специальности 1-41 01 03 «Квант. информ. системы» всех форм обучения / сост. С. В. Гранько. – Минск : БГУИР, 2009. – 23 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-488-478-3 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/398 | - |
| dc.description.abstract | В практикуме обобщены основные сведения о микроэлектромеханических устройствах. Даны методики анализа МЭМС- и МОЭМС-компонентов устройств медицинского назначения, основанных на явлениях дифракции излучения на фрактальных топологиях; акустоэлектронных компонентов; сенсорно-драйверных устройств.
Предназначен для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности «Квантовые информационные системы». | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектромеханические устройства | ru_RU |
| dc.subject | учебно-методические пособия | ru_RU |
| dc.subject | медицинское оборудование | ru_RU |
| dc.subject | лабораторные работы | ru_RU |
| dc.title | Микроэлектромеханические устройства : лаборатор. практикум по курсу «Микро- и наноэлектромехан. устройства» для студентов специальности 1-41 01 03 «Квант. информ. системы» всех форм обучения | ru_RU |
| dc.type | Book | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники
|
