Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/398
| Title: | Микроэлектромеханические устройства : лаборатор. практикум по курсу «Микро- и наноэлектромехан. устройства» для студентов специальности 1-41 01 03 «Квант. информ. системы» всех форм обучения |
| Authors: | Гранько, С. В. |
| Keywords: | микроэлектромеханические устройства;учебно-методические пособия;медицинское оборудование;лабораторные работы |
| Issue Date: | 2009 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Микроэлектромеханические устройства : лаборатор. практикум по курсу «Микро- и наноэлектромехан. устройства» для студентов специальности 1-41 01 03 «Квант. информ. системы» всех форм обучения / сост. С. В. Гранько. – Минск : БГУИР, 2009. – 23 с. : ил. |
| Abstract: | В практикуме обобщены основные сведения о микроэлектромеханических устройствах. Даны методики анализа МЭМС- и МОЭМС-компонентов устройств медицинского назначения, основанных на явлениях дифракции излучения на фрактальных топологиях; акустоэлектронных компонентов; сенсорно-драйверных устройств.
Предназначен для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности «Квантовые информационные системы». |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/398 |
| ISBN: | 978-985-488-478-3 |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
