https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39909| Title: | Метод расчета профиля зоны эрозии мишени магнетронной распылительной системы |
| Authors: | Шекелевский, В. В. Бездников, М. С. |
| Keywords: | материалы конференций;зоны эрозии;магнетронные распылительные системы;метод конечных элементов |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Шекелевский, В. В. Метод расчета профиля зоны эрозии мишени магнетронной распылительной системы / Шекелевский В. В., Бездников М. С. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель-май 2020 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск : БГУИР, 2020. - С. 87-88. |
| Abstract: | В работе представлена методика определения профиля зоны эрозии мишени исходя из расчетов распределения скоростей электронов в магнитной ловушке методом конечных элементов. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39909 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Shekelevskiy_Metod.pdf | 661.91 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.